E-DFO技术使用的润滑油具有分子量小、蒸气压比氟油更低的特点。因此,蒸发速度较慢,只有氟油的约1/1000。另外,作为吸着物使用的片状PTFE(聚四氟乙烯)粉末在润滑剂上的吸着面积较大。因此,润滑皮膜的吸着能力更强,皮膜的保持强度更大。通过采用上述材料,延长了皮膜的寿命,减少了有机材料的气体生产量。
该技术主要面向晶圆检测装置、光测量装置、皮膜装置、真空干涉测量仪及镜头检测装置等。
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该技术主要面向晶圆检测装置、光测量装置、皮膜装置、真空干涉测量仪及镜头检测装置等。
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